Mini LED Cut

設(shè)備簡介

- 兼容尺寸 2寸、4寸、6寸（含 DBR 鍍膜晶圓片）

- 高精度運(yùn)動(dòng)載臺(tái)

- 特殊的光路設(shè)計(jì)，進(jìn)行雙焦點(diǎn)切割，效率高

- 動(dòng)態(tài)對(duì)焦技術(shù)，切深誤差小

- 廣角 CCD ，可自動(dòng)識(shí)別處理大于 1cmX1cm 的殘片

- 自動(dòng)上下料系統(tǒng)，全自動(dòng)無人值守式生產(chǎn)

- 一鍵向?qū)讲僮鳎瑤в袟l碼讀取、生產(chǎn)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)

- 適用于抗負(fù)荷能力差的工件

- 采用干式加工工藝，無需清洗

設(shè)備應(yīng)用場景

- 藍(lán)寶石襯底LED芯片隱形切割

- 可對(duì)應(yīng)最小芯片尺寸為50μm